中芯、中科院微电子所共同开发MEMS代工平台

　　中芯国际(SMIC)日前与中国科学院微电子研究所签订了微机电(MEMS)研发代工平台合作协议，共同进行MEMS传感器标准工艺开发，合作打造完整的MEMS产业链。
 
　　根据协议，中芯国际与中国科学院微电子研究所将进行深度合作，充分发挥微电子所在MEMS传感器设计和成套工艺设计方面的优势，以及中芯国际在标准化工艺平台、产业地位及市场影响力方面的优势，以MEMS环境传感器的开发为牵引，并结合其他类型MEMS传感器结构特点，推进传感器工艺技术的标准化、平台化和量产化，缩短从设计方案到量产产品的距离，促进MEMS产业的快速发展。
 
　　“中芯国际研发团队在传感器领域持续开发新的工艺平台，引进新客户，取得了很多新的成绩。中芯国际愿意开放平台，支持商业化生产、学校和科研院所的研发。”中芯国际首席执行官兼执行董事邱慈云博士表示，“中芯国际与微电子所在多个逻辑工艺开发项目上已有良好的合作基础，此次我们将继续深入合作，共同推进MEMS传感器的成套标准化工艺开发，协助整合并完善MEMS产业链。”